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1.通過(guò)新薄膜FP法提高測(cè)量精度

   X射線鍍層測(cè)厚儀實(shí)現(xiàn)微小光束的高靈敏度，通過(guò)微小準(zhǔn)直器提高了膜厚測(cè)量精度。鍍層測(cè)量時(shí)間比本公司原有機(jī)型縮短了1/2。另外，針對(duì)檢測(cè)器的特性開(kāi)發(fā)了新的EP法，F(xiàn)T110A可進(jìn)行無(wú)標(biāo)樣測(cè)量。測(cè)量結(jié)果可一鍵生成報(bào)告書(shū)，簡(jiǎn)單方便。

    新 薄膜EP法    

      減少檢量線制作的繁瑣程度、實(shí)現(xiàn)了設(shè)定測(cè)量條件的簡(jiǎn)易化；

      無(wú)標(biāo)樣測(cè)量方法可進(jìn)行zui多5層的膜厚測(cè)量；

    自動(dòng)對(duì)焦功能和距離修正功能    

      凹凸落差的樣品可通過(guò)薄膜EP法做成的相同測(cè)定條件進(jìn)行測(cè)量；

    靈敏度提高

      鍍層測(cè)量時(shí)間比本公司原有機(jī)型縮短了1/2；

    生成報(bào)告功能

      一鍵生成測(cè)量報(bào)告書(shū)。

 

2.自動(dòng)對(duì)焦功能 自動(dòng)接近功能

   在X射線鍍層測(cè)厚儀樣品臺(tái)上放置各種高度的樣品時(shí)，只要高低差在80mm范圍內(nèi)，即可在3秒內(nèi)自動(dòng)對(duì)焦被測(cè)樣品。由此進(jìn)一步提高定位操作的便捷性。